真空系統(tǒng)中漏氣流量的平衡表示式如下：

式中 p-系統(tǒng)達(dá)到的壓力;

Po-真空泵的極限壓力;

S-系統(tǒng)的有效抽速;

Qo-由系統(tǒng)外部流向系統(tǒng)內(nèi)部的總漏率;

EQi——虛漏所形成的總“漏”率。

所謂虛漏，其來源是多方面的，如真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料表面的出氣，試驗(yàn)物或工件的出氣，系統(tǒng)內(nèi)各種材料的蒸氣，氣體通過器壁向系統(tǒng)內(nèi)的滲透以及系統(tǒng)的死空間中氣體的流出等。

檢漏中應(yīng)注意區(qū)分Qo與EQi。相對虛漏EQi而言，漏氣Qo也可稱為實(shí)漏。雅之雷德機(jī)電科技：在不特別加以說明時(shí)，所說的漏氣都是指實(shí)漏。

對于與真空泵隔離開的密封容器或器件(如電子管、半導(dǎo)體器件等)來說，S=O，這時(shí)若Po<p，則上式變成

式中 t-封離后所經(jīng)歷的時(shí)間;

V-密封容器的總體積;

Pt-經(jīng)歷時(shí)間￡后系統(tǒng)(或容器)中的壓力;

p，Qo，Qi與上式相同。

真空系統(tǒng)最小可檢分壓力：

最小可檢分壓力反映質(zhì)譜計(jì)探頭的分壓力靈敏度和測量儀器檢測離子流信號(hào)的綜合指標(biāo)。對于規(guī)定的氣體的最小可檢分壓力是檢測一個(gè)等于兩倍噪聲的離子流輸出信號(hào)(即信噪比為2)。

真空系統(tǒng)最大工作壓力：

質(zhì)譜計(jì)在不同應(yīng)用條件下允許工作的最大全壓力極限。一般這項(xiàng)指標(biāo)是對質(zhì)量數(shù)28的氮峰測定的。在定性分析中，最大工作壓力通常定義為，在該壓力下儀器的分壓靈敏度下降到線性值的一半，或定義為J十-p曲線中最大J+值對應(yīng)的p值。

某些儀器給出的指標(biāo)是儀器能指示的最大工作壓力。在該壓力下，分析器仍具有一定的質(zhì)量分離功能，離子源有一定的離子產(chǎn)額，燈絲仍可正常工作。

在進(jìn)行定量測量時(shí)，儀器的最大工作壓力表征為，在該壓力范圍內(nèi)各種離子的離子流與壓力的關(guān)系均呈線性。

真空系統(tǒng)最小可檢濃度：

表征儀器對氣體混合物中所能測量的某一組分的最小值。通常用P最小/P全表示，這里，P最小為氣體混合物中某一組分的最小分壓力，P全為氣體混合物的全壓力。