高真空設(shè)備的真空度的范圍是10-2次方10-5次方Pa。高真空獲得設(shè)備一般是由多個(gè)工作在不同壓力范圍內(nèi)的真空機(jī)組串聯(lián)，再加上管道、真空測(cè)量?jī)x器及閥門組成的。它具有抽氣速率低、壓力低、排放量低等特點(diǎn)，在電子、汽車、生物科技、冶金、航空航天等工業(yè)領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。常用的高真空設(shè)備有以擴(kuò)散泵為主泵的真空機(jī)組(如擴(kuò)散泵-機(jī)械泵機(jī)組、擴(kuò)散泵-羅茨泵-機(jī)械泵機(jī)組)，以分子泵為主泵的真空機(jī)組(如渦輪分子泵-羅茨泵-機(jī)械泵)。

油擴(kuò)散泵真空機(jī)組是在高真空領(lǐng)域使用最早的真空泵機(jī)組。油擴(kuò)散泵是用低壓、高速定向運(yùn)動(dòng)的油蒸汽噴射向被抽氣體中，帶動(dòng)氣體往下運(yùn)動(dòng)，將被抽氣體帶向排氣口，從而達(dá)到抽氣口的。油擴(kuò)散泵的抽速范圍很大，從每秒幾十到幾十萬升。極限真空為10-4次方~10-8次方Pa，在10-2次方~10-4次方Pa的真空范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽氣速率。油擴(kuò)散泵是高真空獲取的重要抽氣裝置，普遍應(yīng)用于真空鍍膜、冶金等行業(yè)。油擴(kuò)散泵之所以被廣泛使用，是因?yàn)樗Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格低廉，對(duì)被抽氣體無選擇性，極限真空度高，沒有機(jī)械傳動(dòng)及摩擦，維修方便。缺點(diǎn)是容易發(fā)生油蒸汽返流，造成真空室油污染；啟動(dòng)時(shí)間長(zhǎng)；功率大，比較耗電。擴(kuò)散泵的返油使它在對(duì)真空潔凈程度要求較高的真空系統(tǒng)的使用中受限。為了解決這個(gè)問題，雅之雷德機(jī)電通常在真空室與好凱德真空機(jī)組的主泵入口之間的管道中安裝冷阱、擋板，可以有效地抽除來自真空室的冷凝蒸氣和來自蒸氣流泵的返流油蒸氣。

以分子泵為主泵的真空機(jī)組也稱為無油真空機(jī)組。最早是德國(guó)的蓋得發(fā)明的。隨后W.Becker在1958年的國(guó)際真空會(huì)議中提出來一種能在超高真空中工作的渦輪分子泵。分子泵雖然是種機(jī)械泵但又不同于機(jī)械泵。機(jī)械泵是通過改變泵腔體積的容積泵，而分子泵是由一個(gè)剛體在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，將其自身的動(dòng)量傳遞給氣體分子，從而使氣體分子具有定向速度，然后再壓縮，最后通過排氣口排走的。渦輪分子泵是通過固定葉片和高速旋轉(zhuǎn)的葉片相互配合實(shí)現(xiàn)抽氣的。在近二十年，分子泵憑借它能夠獲得干凈的高真空的優(yōu)點(diǎn)在各個(gè)行業(yè)應(yīng)用廣泛，特別是薄膜產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體微電子產(chǎn)業(yè)和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。不僅如此，國(guó)外生產(chǎn)的分子泵已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)直接從大氣直接抽氣到高真空，而不需要前級(jí)泵搭配。分子泵的啟動(dòng)速度也很快，能有效提高工作效率。但由于分子泵是通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)來抽氣的，使用時(shí)間久了旋轉(zhuǎn)的葉片之間的磨損也加劇，大大降低了分子泵的使用壽命。而且分子泵對(duì)所抽氣體有所限制，不適合抽水蒸氣等重氣體。